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行业案例
致力于为全球用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案
产品系列
致力于为全球用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案
半导体快速退火炉
桌面型半导体快速退火炉

产品特点:

红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;

灯管功率 PID 控温,可精准控制温度升温,保证良好的重现性与温度均匀性;

采用平行气路进气方式,气体的进入口设置在 WAFER表面,避免退火过程中冷点产生,保证产品良好的温度均匀性;

大气与真空处理方式均可选择,进气前气体净化处理;

标配两组工艺气体;

微波等离子清洗机
微波等离子清洗机

简介:

针对半导体芯片粘接前处理、塑封前处理、光刻胶去除、金属键和前处理。

八大优势:

等离子体不带电,不会对电路造成损害 ▏处理过程保持较低温度  

反应速度快,反应时间短 ▏无电极,无污染源,长寿命

能在高气压下维持等离子体 ▏ 微波结和磁路可以兼容

自偏压要求低 ▏高压源和发生器互相隔离,安全


等离子去胶机
ICP干法等离子去胶机

简介:

可BAW/SAW工艺中的光阻去除,配备单腔双腔两种类型

核心优势:

等离子电离与分解程度较高 ▏等离子处理后,再现性高

能在高气压下维持等离子体 ▏高压源与离子发生器分离

干法刻蚀,无污染源 ▏透过蝶阀控压、控温

处理过程温度低 ▏反应速度快,反应时间短

微波结和磁路可以兼容 ▏可满足客户要求 

等离子清洗机
SPV-150真空等离子清洗机

简介:

军工级焊接工艺,真空腔体密封性强,高密度等离子源,全方位均匀清洗;

适用于面积较大、形状复杂的材料处理,可搭配双路或多路工艺气体气体控制稳定,高密度等离子源,保证全方位均匀清洗。单次可处理多片/批次材料,处理效率高。根据行业需求可定制真空等离子流水线设备,全自动工作,减少人力成本。

接触角测量仪
SDC-200S科研型接触角测量仪

简介:

功能齐全、拓展性能非常高的接触角测量仪。

仪器构造:

接触角测量仪主要由控制系统、注射系统、三轴移动样品台视频采集系统、分析软件五大部分组成,设备采用光学投影的原理。

USC干式超声波除尘
USC显示屏干式超声波除尘

简介:

3μm尘粒97%的清除率,6μm尘粒98%的清除率

超声波干式除尘设备(Ultrasonic Dry Cleaner),通过鼓风机,给除尘头的超声波发生腔提供8-16Kpa的洁净气体,气体通过超声波发生器产生超声波,利用超声波传播的能量及振动,使尘粒克服玻璃基板表面的粘附力,以拉升、滚动及滑动三种运动方式(单一或混合)从玻璃基板表面脱离,使得尘粒从玻璃基板表面分离出来。

服务
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晟鼎精密
/致力于为全球用户提供等离子表面处理与检测整体解决方案

晟鼎半导体是晟鼎股份旗下分公司,总部晟鼎股份成立于2012年,是一家集研发、设计、生产、销售及产业链服务为一体的国家级高新技术企业,致力于为广大客户提供表面性能处理以及检测整体解决方案。研发团队成员以多年从事工业自动化等领域的博士、硕士和学士为主,本科学历以上占比50%。

核心产品有RTP快速退火炉、等离子去胶机、微波等离子清洗机、大气等离子清洗机、宽幅等离子清洗机、真空等离子清洗机、接触角测量仪、USC干式超声波除尘清洗机、离子除静电装置等,目前已大批量用于半导体制造、3C消费电子、新能源、显示等行业,获得了全球知名制造商的高度认可...

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